陽極層離子源是一種不需要熱燈絲陰極進行電荷補償的可靠裝置,可在不同壓力范圍和不同的氣體環境下產生離子束,可在化學活性氣體(氧氣、空氣、鹵素氣體)環境下長期穩定工作。通過閉合的磁阱、陰極和陽極之間的高電壓以及正確的工作壓力,氣流通過磁阱從而產生等離子體射流。